得到日本及全球認可的CKD技術
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空壓元件
滿足廣泛產業界需求的實踐型空壓利用技術
產品群包括流量控制及潔淨應對型產品、環境對策和節能應對型產品。利用「F.R.L.組件」、「空氣乾燥器」等的淨化空氣系統及空壓輔助裝置的業績經驗,擴充系統周邊設備。還擁有豐富的空壓氣缸及電動馬達等驅動元件。
精密系統元件
無限高純度和高精度。超級潔淨環境,應對最尖端技術
半導體、液晶產業要求能夠用於無塵室環境的控制元件。從「藥液控制元件」 、「製程氣體控制元件」、「高真空控制元件」等半導體相關設備的供應系統到排氣系統,保證提供高精度和高性能,不斷挑戰「超高水準的製程控制」。